中国科学院科研装备研制项目“纳弧度长程面形仪”顺利通过验收

2015/04/08 | 【 【打印】【关闭】 | 访问次数:

2015年4月1日,中国科学院条件保障与财务局组织有关专家对中科院上海应用物理所承担的中科院科研装备研制项目“纳弧度长程面形仪”项目进行了现场验收,会议由中科院条件保障与财务局科技条件处张红松主任主持,上海应用物理研究所马余刚副所长参加了会议专家组进行了现场测试,检查了设备的运行情况,听取了相关人员的工作汇报、财务报告、用户汇报及测试报告,审核了项目文件档案,并进行了提问。经讨论,专家组认为项目组完成了研制任务,一致同意通过验收。

光学同步辐射光束线多工作在X射线波段,使用的掠入射反射镜等光学元件的尺寸大、面形质量要求高。随着第三代同步辐射光束线发展的需要,光学元件的面形斜率误差要求已低至0.1μrad(RMS),长程面形仪作为同步辐射中大尺寸光学元件的常用检测设备,对其测量精度的需求也随之在不断提高,目前国际上同类设备中最高精度水平达到了50nrad。上海光源在中国科学院科研装备研制项目和国家自然科学基金的支持下,自主研制成功了国内首台纳弧度精度的长程面形仪。该设备通过简化传统长程面形仪光路、使用双反射镜组件代替传统五角棱镜和高稳定环境控制等关键技术,大幅度减小了高精度检测中的误差,提高了测量精度。现场测试结果表明,该装置单点稳定性达到60nrad(RMS)/2hours、重复性精度36nrad(RMS),平面镜斜率测量精度为64nrad(RMS),均达到或优于实施方案规定的技术指标,达到国际同类设备先进水平。该项目的完成,提高了我国研制同步辐射大口径光学元件表面轮廓非接触高精度测量设备的能力,对以后该领域的进一步发展具有重要意义。(束线光学工程技术部 供稿)

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