аЯрЁБс>ўџ +-ўџџџ*џџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџьЅС%` №Пх bjbj"x"x .@@хџџџџџџЄЄЄЄЄЄЄЄИœœœœ Ј Ид ЖРРРРРРРРS U U U U U U $Š hђ ьy ЄЋРРЋЋy ЄЄРРŽ 3 3 3 Ћ:ЄРЄРS 3 ЋS 3 3 ЄЄ3 РД pœt&YЩœх"3 S Є 0д 3 о  о 3 о Є3 РЎn|3 ъdN]РРРy y  РРРд ЋЋЋЋИИИфœИИИœИИИЄЄЄЄЄЄџџџџ Nanotechnology at the Technical University of Denmark Dr. Mogens Rysholt Poulsen Director, DTU Danchip Acting Director, DTU Nanotech Technical University of Denmark Dr. Peixiong Shi Senior Process Engineer DTU Danchip Technical University of Denmark Abstract: In this presentation we will give an overview of the micro- and nanotechnology related activities at the Technical University of Denmark. We will give a special emphasis to the activities on top-down processing of components and functionalities with applications in areas such sensors, life sciences, environment, and telecommunication. Furthermore, we will give an introduction to our processing facilities and to our activities to transfer technology to industrial partners. 67;hІмќф х љѕэтљѕљѕљhMythMytmHsHhMytmHsHhMyt hMythMyt 67Rh†ІЇИамќ§ў х §§§§§§§§§§ј§§§§gdMytх ў,1hА‚. АЦA!А"А# $ %ААФАФ Ф†œ@@ёџ@ NormalCJ_HaJmH sH tH DA@ђџЁD Default Paragraph FontRi@ѓџГR  Table Normalі4ж l4жaі (k@єџС(No Listхџџџџ67Rh†ІЇИамќ§ўч˜0€€˜0€€˜0€€˜0€€˜0€€˜0€€˜0€€˜0€€˜0€€˜0€€˜0€€˜0€€˜0€€˜0€€˜0€€х х х џџ ъВL<<ыВ,ћьВ<­=эВьќюВ b>яВlћ№ВьњёВЬ~ђВlа=ѓВє|єВД&#ѕВLі ..†žžмцєєч   *55šЅЅх№ћћч B *€urn:schemas-microsoft-com:office:smarttags€country-region€= *€urn:schemas-microsoft-com:office:smarttags €PlaceType€= *€urn:schemas-microsoft-com:office:smarttags €PlaceName€9 *€urn:schemas-microsoft-com:office:smarttags€place€ @AI 7hЋГдллуч7QRgч7Rчлучх№f#Mytџ@€фф,+ффх`@џџUnknownџџџџџџџџџџџџG‡z €џTimes New Roman5€Symbol3& ‡z €џArial"qˆ№аhЊвШFЕвШF nwnw$№ЅРДДr4фф2ƒ№HX)№џ?фџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџMyt2џџ5Nanotechnology at the Technical University of DenmarkMogens Rysholt PoulsenMogens Rysholt Poulsenўџр…ŸђљOhЋ‘+'Гй0М˜иф, LX x „ œЄЌДф8Nanotechnology at the Technical University of DenmarkMogens Rysholt PoulsenNormalMogens Rysholt Poulsen1Microsoft Office Word@d‰@ќѓšWЩ@ўW$YЩnwўџеЭеœ.“—+,љЎ0 hp|„Œ” œЄЌД М ўфDTUф' 6Nanotechnology at the Technical University of Denmark Title ўџџџ ўџџџўџџџ !ўџџџ#$%&'()ўџџџ§џџџ,ўџџџўџџџўџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџRoot Entryџџџџџџџџ РFPЁ{&YЩ.€Data џџџџџџџџџџџџ 1TableџџџџWordDocumentџџџџ.SummaryInformation(џџџџџџџџџџџџDocumentSummaryInformation8џџџџџџџџ"CompObjџџџџџџџџџџџџqџџџџџџџџџџџџўџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџўџ џџџџ РFMicrosoft Office Word Document MSWordDocWord.Document.8є9ВqщžцГ•х‚ц•А