2025年7月17日，“质析毫微・谱绘万象”半导体痕量成分检测技术交流会在中国科学院上海应用物理研究所隆重举行。本次会议由中国物理学会质谱分会、北京雪迪龙科技股份有限公司联合主办，上海应物所、分析测试百科网、中国仪器仪表学会分析仪器分会质谱仪器专家组协办，吸引了众多科研院所、高校的专家学者、半导体企业技术负责人、检测仪器研发精英合计70余人齐聚一堂，共同探讨半导体检测技术的前沿动态与国产化发展之路。

与会人员合影

会议现场

会议开幕式由分析测试百科网总经理卞利萍女士主持。中国物理学会质谱分会理事长方向、上海市科委科技基础设施与平台建设处副处长张露璐、北京雪迪龙科技股份有限公司董事长敖小强以及上海应物所所务委员、所级中心主任黄鹤飞等领导嘉宾出席并发表致辞，为本次会议拉开帷幕。开幕式后，举行了“飞行时间二次离子质谱上海应用中心”揭牌仪式。应物所与雪迪龙双方将通过这一合作平台，汇聚各自的技术、人才、资源等优势，加速科研成果的转化，打通“技术研发-场景验证-商业应用”的闭环，共同致力于质谱技术的研发与应用，推动国产仪器在半导体领域的高端化发展。

中国物理学会质谱分会理事长 方向

上海市科委科技基础设施与平台建设处副处长 张露璐

北京雪迪龙科技股份有限公司董事长 敖小强

中国科学院上海应用物理研究所所务委员、所级中心主任 黄鹤飞

分析测试百科网总经理卞利萍

飞行时间二次离子质谱上海应用中心揭牌

在主题报告环节，中国物理学会质谱分会理事长方向研究员、雪迪龙副总工程师张倩暄、中国科学院化学研究所的汪福意研究员、中国科学院上海应用物理研究所高级工程师汪雪博士、雪迪龙子公司英国KORE公司总经理Stephen James Mullock博士、中国科学院上海硅酸盐研究所的汪正研究员、中国科学院化学研究所的张燕燕副研究员、雪迪龙子公司英国KORE公司技术专家Douglas Fraser Reich博士，围绕材料痕量成分检测的主题，分享了精彩的报告，深入探讨质谱检测技术最新发展方向与国产化替代和突破。

主题报告

主题报告现场

在主题报告结束后，参会人员分组前往本所二次离子质谱（SIMS）实验室进行参观，近距离了解SIMS设备的使用情况。应物所的分析测试中心以SIMS为代表的痕量成分检测平台，长期服务于熔盐堆材料、半导体材料和新能源器件等领域。方向理事长对应物所的SIMS设备维护及管理工作给予了高度评价。参观结束后，部分嘉宾参加了闭门会议，围绕“如何打破高端SIMS设备的‘卡脖子’困局”这一主题展开了深入讨论。与会专家和企业代表从技术研发、人才培养、市场推广等多个角度提出了宝贵的意见和建议，为我国高端SIMS设备的自主可控发展提供了有益的参考。

参会人员参观核测中心

参会人员参观SIMS实验室

半导体痕量成分检测技术的自主可控是我国半导体产业发展的关键，通过加强产学研合作、推动技术创新和人才培养，我国有望在高端科学仪器领域实现突破，为半导体产业的高质量发展提供有力支撑。本次会议的成功举办不仅为行业专家、学者和企业代表提供了一个交流合作的平台，也为我国半导体检测技术的自立自强注入了新的活力。相信在各方的共同努力下，我国半导体检测技术将迎来更加广阔的发展前景，为全球半导体产业的发展贡献更多中国智慧和中国力量。（核测中心供稿）